Dans l'industrie solaire photovoltaïque, la qualité du silicium monocristallin est directement liée à la qualité du silicium monocristallin. Un champ thermique qualifié peut produire des monocristallins de haute-qualité. Par conséquent, la création de bonnes conditions de champ thermique est un facteur très important dans le procédé monocristallin de Czochralski. Le graphite est le support de la croissance des monocristaux. Les pièces de traitement en graphite de haute -pureté et en graphite pressé isostatique sont principalement utilisées dans les fours de croissance monocristallins en graphite Czochralski.
Selon les besoins de la situation réelle, la taille du champ thermique est divisée en fonction du diamètre du creuset en quartz. Actuellement, les champs thermiques dans notre pays vont de φ12" à φ28", et généralement, φ18" à φ22" sont majoritaires.
Le système thermique du four monocristallin mentionné ici est ce qu'on appelle le champ thermique. Le champ thermique comprend généralement un anneau de pression, un couvercle isolant, un couvercle isolant supérieur, moyen et inférieur, un creuset en graphite (à trois - volets), une tige de support de creuset, un plateau de creuset, une électrode, un élément chauffant, un tube de guidage et un boulon en graphite. Pour éviter les fuites de silicium à l'avenir, des plaques de protection et des manchons de protection sont installés sur le fond du four, les électrodes métalliques et les tiges de support.
1. Chauffage
Le radiateur est un élément très important dans le domaine thermique. C'est un élément chauffant direct. Lorsque la température est élevée, elle peut atteindre plus de 1 600 degrés. Les radiateurs courants ont trois formes : cylindre, coupelle et spirale. Généralement, les radiateurs sont traités à partir de graphite de haute-pureté.
2. Électrode de graphite
Les électrodes de graphite servent à maintenir le radiateur en place et à délivrer du courant à travers le radiateur. Par conséquent, l'électrode doit être épaisse, solide et durable, et la surface doit être lisse et stable pour garantir une bonne surface de contact et ne pas produire d'étincelles lorsqu'elle est alimentée. L'électrode en graphite est également traitée avec du graphite de haute-pureté.
3. Creuset en graphite, tige de support en graphite, plateau en graphite
La tige de support du creuset, le creuset et le plateau constituent ensemble le corps de support du creuset en graphite, qui doit être fermement associé à l'arbre inférieur et avoir une bonne neutralité. Lorsque l'arbre inférieur tourne, l'écart entre la tige de support et le plateau est inférieur ou égal à 0,5 mm. La hauteur du corps de support en graphite peut être ajustée.
4. Couverture isolante
La couverture d'isolation thermique est divisée en couvertures d'isolation thermique supérieure, moyenne et inférieure. La couverture d'isolation thermique est constituée de feutre de carbone graphite enroulé autour d'un cylindre d'isolation. Le nombre de couches de feutre graphite-carbone dépend de la situation. La couverture isolante inférieure constitue le système d'isolation inférieur. Sa fonction est de renforcer l'isolation du fond du pot, d'augmenter la température du fond du pot et de réduire les pertes de chaleur.
5. Couvercle isolant et tube de guidage
Le revêtement d'isolation thermique est composé d'un revêtement supérieur d'isolation thermique, d'un feutre de carbone d'isolation thermique et d'un revêtement inférieur d'isolation thermique, c'est-à-dire qu'une couche de feutre de carbone graphite est prise en sandwich entre deux couches de graphite annulaire. Le tube de guidage est principalement utilisé pour contrôler le gradient de température du champ thermique et guider le flux d'argon gazeux à l'avenir.
6. Anneau de pression
L'anneau de pression en graphite est une pièce annulaire circulaire en graphite composée de plusieurs arcs. Il est placé au point de contact entre la plaque de recouvrement et la paroi du four pour empêcher la chaleur et le gaz de passer à travers l'espace entre le foyer et la plaque de recouvrement.